Apparatus for edge defect and discolor testing of glass board

유리기판의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치

Abstract

개시된 에지 결함 및 디스컬러 검사장치는, 박막 트랜지스터 액정 표시 장치 제조를 위한 유리기판을 운반하는 로딩유닛과, 로딩유닛에 의하여 공급된 유리기판의 에지 및 디스컬러를 검사하는 검사유닛 및 로딩유닛 및 검사유닛을 제어하는 제어유닛을 구비하며, 이와 같은 구성의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치에 의하면, 유리기판의 에지 결함 및 디스컬러 유무의 검사를 박막 트랜지스터 액정 표시 장치 제조공정 중에 자동적으로 진행할 수 있어 경제적이며, 연속된 증착이나 식각, 스퍼터링 등 플라즈마를 이용한 공정들 사이에 본 발명의 에지 결함 및 디스컬러 검사장치를 배치하여 실시간으로 유리기판의 적합성 상태를 확인할 수 있어 경제적이며 신속한 공정을 진행할 수 있는 효과를 제공한다. 박막 트랜지스터 액정 표시 장치, 유리기판

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    KR-101009043-B1January 18, 2011세메스 주식회사기판 처리 장치 및 기판 처리 방법