마이크로 채널 구조를 갖는 가스센서

Gas sensor with micro channel structure and the fabricating method thereof

Abstract

본 발명은 미세히터선의 하부를 가로지르는 마이크로 채널을 형성하여 미세히터선과의 직접적인 접촉 면적을 감소시킴으로써 미세히터선에서의 급격한 열손실을 방지하고, 이에 따라 소비 전력의 감소와 감지 효율의 향상을 도모할 수 있도록 한 마이크로 채널 구조를 갖는 가스센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 마이크로 채널 구조를 갖는 가스센서는 일정 방향성을 가지며 중심 부위를 가로질러 마이크로 채널이 형성되어 있는 실리콘 기판; 상기 마이크로 채널을 사이에 두고 상기 실리콘 기판 상에 형성되는 절연층; 적어도 일단이 일측의 상기 절연층에 의해 지지된 채로 상기 마이크로 채널 위를 지나는 한 쌍의 미세전극선; 양단이 일측의 상기 절연층 상에 지지되며, 상기 한 쌍의 미세전극선을 감싼 채로 상기 마이크로 채널 위를 지나는 한 쌍의 미세히터선 및 상기 마이크로 채널의 직상방에 위치한 상기 한 쌍의 미세전극선과 상기 미세히터선 부위를 모두 덥도록 상기 한 쌍의 미세전극선과 상기 미세히터선 상에 형성되는 감지막을 포함한다. 가스센서, 마이크로, 채널, 절연층, 미세전극선, 미세히터선

Claims

Description

Topics

Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)

    Title

Cited By (1)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    KR-100966305-B1June 28, 2010한국기계연구원Apparatus and fabrication method of conducting polymer based nano sensor